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相关产品
产品信息
英国EDWARDS爱德华iH1000,380V干泵真空泵
在节省电机功率的同时程度提高了工作繁重的CVD应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒
堆积，从而降低了总体占地面积。
技术数据
iH80
iH160
iH600
iH1000
iH1800
峰值速度
103 m3h-1
165 m3h-1
600 m3h-1
1000 m3h-1
1800 m3h-1
61 cfm
97 cfm
353 cfm
589 cfm
1060 cfm
1717 l min-1
2750 l min-1
10000 l min-1
16670 l min-1
30000 l min-1
极限真空
1 x 10-2mbar
1 x 10-2mbar
7 x 10-4mbar
1 x 10-3mbar
1 x 10-3mbar
7.5 x 10-3Torr
7.5 x 10-3Torr
5.3 x 10-4Torr
7.5 x 10-4Torr
7.5 x 10-4Torr
1 Pa
1 Pa
0.07 Pa
0.1 Pa
0.1 Pa